熱質量流量傳感器是什么？
熱質量流量傳感器，工作原理和設計
熱質量流量傳感器直接測量氣體和液體的質量流量。體積測量受所有影響單位體積或間接影響壓降的環境和過程條件的影響，而質量流量測量不受粘度，密度，溫度或壓力變化的影響。
熱質量流量計通常用于監視或控制與質量有關的過程，例如取決于未反應成分的相對質量的化學反應。在檢測可壓縮蒸氣和氣體的質量流量時，測量不受壓力和/或溫度變化的影響。
熱質量流量計的功能之一是準確測量低氣體流速或低氣體流速（每分鐘25英尺以下），遠低于任何其他設備所能檢測到的水平。
熱流量計有高壓和高溫設計，并有特殊材料制成，包括玻璃，Monel®和PFA。流通型設計用于測量少量純凈物質（如果氣體是純凈氣體，則熱容量恒定），而旁通和探針型設計可檢測管道，火炬煙囪和干燥器中的較大流量。
基本原理：
熱質量流量傳感器最常用于調節低氣流。它們通過將已知量的熱量引入流動的流中并測量相關的溫度變化，或者通過將探頭保持在恒定溫度下并測量這樣做所需的能量來進行操作。基本熱質量流量計的組件包括兩個溫度傳感器和一個位于它們之間的電加熱器。加熱器可以伸入流體流中（圖5-8A），也可以在管道外部（圖5-8B）。
在直接加熱方式中，電加熱器會添加固定量的熱量（q）。當過程流體流過管道時，電阻溫度檢測器（RTD）可測量溫度升高，同時引入的電熱量保持恒定。
根據測得的溫度差（T2-T1），儀表系數（K），電熱率（q）和流體的比熱（Cp）如下計算質量流量（m） ：
m = Kq /（Cp（T2-T1））
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